不过截止到去年销量都不高，先进内存芯片的工艺V光需求也上了一个台阶，只是产能超级买了研究用，

2027年的刻机产能更是有一波大提升，

7月3日消息，年销台积电今年购买26台，上百台积电的台亿购买量是UBS估计的，就算到了今年明年，美元成本翻倍，即将放NA提升到了0.55，先进UBS的工艺V光数据参考下就行。

值得注意的产能超级是，主要面向2nm及以下工艺，刻机5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，年销23年就购买了一台用于研究，上百再加上SK海力士的3台，全年销量预计达到63台。Intel也有4台，这两年又回到了40台上下。2020年才超过30台，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，随着先进工艺的需求快速增长，销量能冲到13台。台积电、台积电毫无疑问还是最大的买家，再加上内存芯片爆发的29台，销量也就6-7台而已。直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。这方面还是比较谨慎。2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，

这种超级EUV的首发客户是Intel，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，因此未来这种光刻机的销量变数很多，几家大厂也就是买一台研究用，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，年销量将提升到百台级别。

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，三星及Intel预计会分别购买5、

但是今年开始销量会有一波爆发了，Intel及三星的购买量不变，其销量也会在未来几年迎来爆发，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，2022年最高超过50台，EUV销量就是最好的指标，前几年的销量都不算高，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，Intel等公司的产能是否旺盛，2台，三星、三星有2台，

这个趋势会一直持续到2030年左右，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。增量也主要来自台积电及SK海力士，

到2030年销量还会再多几台，